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分分钟让你了解如何安装真空烧结炉

发布日期:2022-03-30      浏览次数:164
  真空烧结炉是半导体专用设备系列中的一种新型工艺设备,设计新颖,操作方便,结构紧凑。它可以在一台设备上完成多个工艺流程。安装现场应符合真空卫生要求,周围空气清洁干燥,通风良好,工地不易扬尘等。   安装真空烧结炉的场所应符合真空卫生的要求,周围的空气应清洁和干燥,并有良好的通风条件,工作场地不易扬起灰尘等。
  1、检查控制柜中所有部件及配件是否完备、完好。
  2、控制柜安装在相应的地基上,并固定。
  3、安照接线图,并参考电气原理图,接通外接主回路及控制回路,并可靠接地,保证接线无误。
  4、检查电器可动部分应活动自如,无卡死现象。
  5、绝缘电阻应不低于2兆欧姆。
  6、真空电炉各阀门必须在关闭位置。
  7、控制电源开关放在关位。
  8、手动调压旋钮逆时针旋动头。
  9、报警钮放在开位。
  10、按平面图完成设备的循环冷却水联接,建议在设备总进出水管处再接入一备用水(可用自来水),防止循环水有故障或断电导致密封圈烧坏。
  11、安装完毕后,抽低真空,等水路接通后可试烧一炉,加热手动/自动升温,温度不低于1600℃,加热时间不少于4小时,预烧结束后在降温阶段可对扩散泵加热,扩散泵加热时间不能小于45分钟,然后关闭上部的小蝶阀,启动大挡板阀(或大蝶阀),观察真空计的数值变化,此时真空度应很快小于0.1Pa。
  
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