分分钟让你了解如何安装真空烧结炉

　　真空烧结炉是半导体专用设备系列中的一种新型工艺设备，设计新颖，操作方便，结构紧凑。它可以在一台设备上完成多个工艺流程。安装现场应符合真空卫生要求，周围空气清洁干燥，通风良好，工地不易扬尘等。   安装真空烧结炉的场所应符合真空卫生的要求，周围的空气应清洁和干燥，并有良好的通风条件，工作场地不易扬起灰尘等。

　　1、检查控制柜中所有部件及配件是否完备、完好。

　　2、控制柜安装在相应的地基上，并固定。

　　3、安照接线图，并参考电气原理图，接通外接主回路及控制回路，并可靠接地，保证接线无误。

　　4、检查电器可动部分应活动自如，无卡死现象。

　　5、绝缘电阻应不低于2兆欧姆。

　　6、真空电炉各阀门必须在关闭位置。

　　7、控制电源开关放在关位。

　　8、手动调压旋钮逆时针旋动头。

　　9、报警钮放在开位。

　　10、按平面图完成设备的循环冷却水联接，建议在设备总进出水管处再接入一备用水(可用自来水)，防止循环水有故障或断电导致密封圈烧坏。

　　11、安装完毕后，抽低真空，等水路接通后可试烧一炉，加热手动/自动升温，温度不低于1600℃，加热时间不少于4小时，预烧结束后在降温阶段可对扩散泵加热，扩散泵加热时间不能小于45分钟，然后关闭上部的小蝶阀，启动大挡板阀(或大蝶阀)，观察真空计的数值变化，此时真空度应很快小于0.1Pa。