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关于延长真空烧结炉寿命的事,你可能不知道

发布日期:2022-05-05      浏览次数:139
   真空烧结炉主要利用的是中频感应加热的原理,可进行真空烧结,气体保护烧结及常规烧结,这是一种半导体专用设备系列中新颖的工艺装备。在高温下,使陶瓷生坯固体颗粒的相互键联,晶粒长大,空隙(气孔)和晶界渐趋减少,通过物质的传递,其总体积收缩,密度增加,最后成为具有某种显微结构的致密多晶烧结体。那么,如何延长真空烧结炉的使用寿命?
 
  1、适当的环境湿度
 
  实验电炉和控制器的相对湿度不得超过85%,且不得有导电性的浮尘,爆炸性气体和腐蚀性刺激物,以免破坏金属绝缘和电子部件。碳化硅棒应放置在干燥的地方,以防止铝头吸收水分并发生变化。在施工过程中,如果发现某些杆呈白色,而有些杆呈深红色,则表明每个杆的电阻都不同,因此有必要在重新施加之前用相似的电阻值更换该杆。
 
  2、合适的温度
 
  高温真空烧结炉的运行与工作温度有很大关系。控制器的工作环境温度限制在0-50℃,不能太高或太低。
 
  3、确保设备连接正确
 
  在实验电炉的运行状态下,检查电炉和控制器的连接器的连接是否完好。
 
  4、冲洗电炉
 
  做好冲洗实验电炉的电炉的工作。应及时清除炉中的金属氧化物,熔渣和碎屑,并应小心处理工件,以防止碳化硅棒损坏。
 
  5、不符合要求的工件严禁进入炉内。
 
  使用高温真空烧结炉和控制器时,请确保炉温在额定功率范围内,并且炉温不能超过极限使用温度。禁止将潮湿的工件装入炉中。在加热炉中,水分含量很高的加热工件应提前干燥。
 
  6、避免对加热元件造成其他损坏
 
  碳化硅棒是碳化硅的重结晶产物。碱,碱金属,硫酸和硼化合物在高温下可能对其产生腐蚀作用,而水蒸气会对其产生影响。有很强的氧化作用:氢气和含有大量氢气的气体会在高温下分解碳化硅棒,因此必须严格注意其应用。
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