真空烧结炉主要利用的是中频感应加热的原理，可进行真空烧结，气体保护烧结及常规烧结，这是一种半导体专用设备系列中新颖的工艺装备。在高温下，使陶瓷生坯固体颗粒的相互键联，晶粒长大，空隙（气孔）和晶界渐趋减少，通过物质的传递，其总体积收缩，密度增加，最后成为具有某种显微结构的致密多晶烧结体。那么，如何延长真空烧结炉的使用寿命？
1、适当的环境湿度
实验电炉和控制器的相对湿度不得超过85％，且不得有导电性的浮尘，爆炸性气体和腐蚀性刺激物，以免破坏金属绝缘和电子部件。碳化硅棒应放置在干燥的地方，以防止铝头吸收水分并发生变化。在施工过程中，如果发现某些杆呈白色，而有些杆呈深红色，则表明每个杆的电阻都不同，因此有必要在重新施加之前用相似的电阻值更换该杆。
2、合适的温度
高温真空烧结炉的运行与工作温度有很大关系。控制器的工作环境温度限制在0-50℃，不能太高或太低。
3、确保设备连接正确
在实验电炉的运行状态下，检查电炉和控制器的连接器的连接是否完好。
4、冲洗电炉
做好冲洗实验电炉的电炉的工作。应及时清除炉中的金属氧化物，熔渣和碎屑，并应小心处理工件，以防止碳化硅棒损坏。
5、不符合要求的工件严禁进入炉内。
使用高温真空烧结炉和控制器时，请确保炉温在额定功率范围内，并且炉温不能超过极限使用温度。禁止将潮湿的工件装入炉中。在加热炉中，水分含量很高的加热工件应提前干燥。
6、避免对加热元件造成其他损坏
碳化硅棒是碳化硅的重结晶产物。碱，碱金属，硫酸和硼化合物在高温下可能对其产生腐蚀作用，而水蒸气会对其产生影响。有很强的氧化作用：氢气和含有大量氢气的气体会在高温下分解碳化硅棒，因此必须严格注意其应用。
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