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这3个真空烧结炉的应急措施了解吗?

发布日期:2022-05-18      浏览次数:56
   为满足行业对技术要求和相关规范不断发展的需要,真空烧结炉工艺在精确度及效率上有了很大成长空间。真空烧结炉是一种新型工艺设备,主要用于半导体元件和功率整流器件的烧结工艺,它可以进行真空烧结、气体保护烧结和常规烧结。但是,在日常使用时,它的应急措施我们一定的了解!
  加热电源掉电
  1、水压低,当水压低于0.15MPa,压力表报警。
  2、接地故障。
  3、真空放电,水冷电极接头与加热器连接处必须连接牢固,与反射屏绝缘要好。
  4、若炉内压力为13.3-66.5Pa时(此真空度容易发生放电)。电源出现故障,掉电的原因可以认为由于电介质击穿而引起的放电。
  充气气体(氩气或氮气)停止
  1、抽真空开始前,气体充入时间长或者无法充入时,请确认气体管路是否被堵塞。
  2、如气体管路没问题,检查电磁阀及气体充气阀的动作,为了安全与其相关联的设备要全部停止后再进行检查。
  3、向真空室内充气不能停止的情况下,泄压阀动作如泄压阀动作时,要关闭气体供给阀及配管在内的所有气体系统。
  4、确认气体充气配管是否有漏气的地方,如有会影响制品质量。
  真空室压力恶化
  1、真空排气时间比通常长时,应把设备停下来进行检查,根据真空室内构造物不同状态下放气的影响,也有导致压力升高的情况。
  2、通过压力上升测试或者用氦气检漏来确认是漏气还有放气的影响。
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