这几年兴起的
广东高温炉一直朝着大型化、多段化、机械化、自动化方向发展。它是一种加热设备,通常温度可达到1800都,经过特殊处理的炉子可达到2100度,可以满足你的基本所有要求。我们在使用时,一定要遵守相关的安全要求。
一、准备工作
1,检查电源线接触是否良好2,检查连接线是否正常3,检查冷却水是否正常4,检查密封性是否正常5,准备所需工具:无尘纸、*、帆布手套、作业手套、耐高温手套、石墨推车、不锈钢托盘
二、开炉
1,打开主电源开关2,向炉体充氩气至大气压,打开炉体前门,取下石墨盖板3,将输送车开关打至OUT,依次操作UP-FORWARD-UP-BACK-DOWN按钮,取出。石墨坩埚,依次放置于石墨推车上输送车开关.4,清炉清理炉膛内壁、石墨件及保温材料上的污物
三、装料
1,将石墨坩埚放置于输送车平台上,使用限位杆确定其位置,依次装入硅料。2、拔出限位杆,输送车开关打至IN,依次操作UP-FORWARD-BACK-DOWN,将坩埚装入炉膛内,并确定输送车会到初始位置。3、装入石墨盖板,拧紧石墨螺栓,关紧炉门
四、抽气
1、检查炉门是否关紧,真空系统是否密封2、置DP按钮于DPON,打开干式真空泵,打开真空计开关P1G1,打开干式真空泵。阀门,开始抽气测试泄漏率,3、当压力表指示为50Pa是关闭真空泵阀门(非真空泵)露铝≤1Pa/min,打开氩气阀门充氩气(20L/min)。