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在真空烧结炉使用中遇到三种情况可以采取应急措施

发布日期:2022-03-21      浏览次数:87
   真空烧结炉是半导体专用设备系列中的一种新型工艺设备,可进行真空烧结、气体保护烧结和常规烧结。它具有设计新颖、操作方便、结构紧凑等优点。它可以在一台设备上完成多个工艺流程。在真空烧结炉使用中遇到以下三种情况可以采取的应急措施。
  一、停电
  1、停电时,如果断水,应立即接通备用的冷却水,接通水源。
  2、如果在非升温、加热和冷却时,能够尽快恢复时,重新启动设备,继续运转如需要较长时间,则将设备保持原状。
  3、如果正在加热和冷却时,能够尽快恢复时,重新启动设备,如果需要较长时间时,则保持原状,让设备自然冷却下来。
  二、加热电源掉电
  1、水压低,当水压低于0.15MPa,压力表报警。
  2、接地故障。
  3、真空放电,水冷电极接头与加热器连接处必须连接牢固,与反射屏绝缘要好。
  4、若炉内压力为13.3-66.5Pa时(此真空度容易发生放电)。电源出现故障,掉电的原因可以认为由于电介质击穿而引起的放电。
  三、充气气体停止
  1、抽真空开始前,气体充入时间长或者无法充入时,请确认气体管路是否被堵塞。
  2、如气体管路没问题,检查电磁阀及气体充气阀的动作,为了安全与其相关联的设备要全部停止后再进行检查。
  3、向真空室内充气不能停止的情况下,泄压阀动作如泄压阀动作时,要关闭气体供给阀及配管在内的所有气体系统。
  4、确认气体充气配管是否有漏气的地方,如有会影响制品质量。
  
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