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真空烧结炉在各种工况下的测量方式

发布日期:2022-07-04      浏览次数:66
   我公司的真空烧结炉可以用于活性金属和难溶金属以及硬质合金,磁性材料和不锈钢等不同情况下使用。在实践中,真空烧结机是在压力下进行(压力降低)的烧成。在较高的真空条件下,在较靠近于中性的环境下,其与物质之间的化学反应越少,是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺装备。我们下面来介绍下,不同情况下真空烧结炉的不同测量方法:
 
  1、极限压力的测量
 
  在空炉冷态情况下,用真空炉本身配套的真空系统进行试验。按正常工作条件启动真空泵,直到炉内压力达到的低值即为炉子的极限压力。
 
  2、抽气时间的测量
 
  在空炉冷态情况下,用真空炉本身配套的真空系统对炉子进行抽空,从炉内压力为大气压开始到炉内真空度达到产品标准中规定的极限压力为止的时间即为真空炉抽气时间。油扩散泵和油增压泵的预热时间不包括在内。
 
  3、最高温度的测量
 
  在空炉冷态情况下,用真空炉本身配套的真空系统对炉子进行抽空,当炉子真空度达到5Pa时开始加热,温度达到设计的最高温度时,保温10min,此温度即为炉子的最高温度。
 
  4、工作温度的测量
 
  在空炉冷态情况下,用真空炉本身配套的真空系统对炉子进行抽空,当炉子真空度达到5Pa时开始加热,温度达到设定的工作温度时,至少保温2h,此温度即为炉子的工作温度。
 
  5、炉温均匀性的测量
 
  试验规定如下:将测量炉温均匀性的试验框架(-般为长方体)放进真空炉,取长方体的八个相交点和长方体中心点共九点并与从炉体外引进的九个热电偶相接,然后关上炉门抽空。当炉子真空度达到5Pa时开始加热,炉子温度达到800"C(最高温度为1100C以下的真空炉,不含1100C)或1100C(最高温度为1100C~2400C的真空炉)时,保温2h,然后用同一一个电位差计测量每个点的温度,再算出各点的温差即为炉子的炉温均匀性。
 
  6、真空炉控温精度的测量(不含单点控温)
 
  在空炉冷态情况下,用真空炉本身配套的真空系统对炉子进行抽空,当炉子真空度达到5Pa时开始加热,温度达到设定的温度时,保温30min,此时经过校验的主控和辅控温度表之间的差值即为真空炉的控温精度。
 
  

 

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