小型真空炉在航空航天、兵器、电子、汽车、机械等领域得到了广泛的应用，是目前热处理行业中的主流设备。该设备利用真空系统使炉腔内的压力低于标准大气压，使炉膛内的空间达到真空状态，然后在真空状态下进行加热。处理后的产品不仅质量可靠，而且环保无污染、不需进行三废处理。
理论上，金属材料都可在真空炉内进行热处理。但是，由于工艺要求、工艺成本和工艺难度等原因，有些材料不适宜采用真空炉进行热处理。
1、高温易形成有害物质，对N元素敏感。
为了防止合金元素在高温下挥发，通常采用高纯度的氮气来保持其分压，而在冷却过程中通常采用氮气进行冷却。因此，这种材料不宜采用真空炉进行处理。
2、碳钢.
从成本角度考虑，碳钢价格低，成品零件价格低，用真空炉处理实在是浪费，除非利润较高的工件或工件已无加工余量，对表面质量要求较高的情况下才是权宜之计。
3、某些材料（工件）采用特殊工艺。
比如某些工件为了获得最佳的力学性能，需要得到贝氏体，通常采用等温淬火工艺，而真空热处理炉难以实现；再如T10钢，硬度高，变形低，一般采用水淬油冷工艺，虽然采用高压气淬获得了较高的硬度，但在Ms点以下，由于温度过快，变形较大。
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