真空热处理炉的真空系统选择浅析

　　真空热处理炉的热效率高，可实现快速升温和降温，可实现无氧化、无脱碳、无渗碳，可去掉工件表面的磷屑，并有脱脂除气等作用，从而达到表面光亮净化的效果。一般来说，被处理的工件在炉内加热缓慢，内热温差较小，热应力小，因而变形小。产品合格率高。可降低成本，有除气作用，从而提高了工作的机械性能和使用寿命。工作环境好，操作安全，无污染和公害。被处理的工件没有氢脆危险，对钛材和难熔金属壳防止表面氢脆，真空热处理工艺的稳定性和重复性好。这一系列的优点，使得开发真空热处理炉和工艺被越来越重视和应用越来越广。

　　真空热处理炉的真空系统选择：

　　常用的真空配置有四种，一种是低真空配置，配置为机械泵（旋片泵或滑阀泵），极限真空度可达10 Pa左右；第二种是中真空配置，配置罗茨泵和机械泵（旋片泵或滑阀泵）组合，极限真空度能达到2C10-1 Pa；第三种是高真空配置，一般配置为扩散泵+罗茨泵+机械泵（旋片泵或滑阀泵），极限真空度可达到2R10-3 Pa；第四种是涡轮分子泵+罗茨泵+机械泵（旋片泵或滑阀泵），极限真空度可达2F10-4 Pa。真空系统的选择主要依据工作真空度而确定。